最高のスループットとコストパフォーマンスを実現
メモリアプリケーション向けに設計された、最新のレスポンスベースプロセス技術を搭載。
高度な光学システムと、優れた検査能力を提供します
1台で8インチおよび12インチウェハどちらも柔軟に対応
オートウェハハンドラやEFEMとの連携が可能、工場の自動化システムへのシームレスな統合を実現します。