K&S 提供尖端的晶圆级植球解决方案,将精度、速度与可靠性完美融合,为下一代半导体制造提供核心动力。



简要概述

关于植球技术


植球技术是一种晶圆级互连工艺。它通过为先进半导体封装制造高密度的金焊球,为次下一代元件实现可靠的微间距连接。该工艺结合传统的线焊技术,适用于对高性能和紧凑设计有极高 要求的应用场景。


利用EFO火花,在焊线末端形成金球,并通过热、压力和超声波能量的“热压超声”作用将其键合在焊垫上,从而建立稳固的金属互连。随后,焊线被整齐切断,在焊垫表面留下一个坚固的金质焊球,即“Stud”或“Bump”。


这些精密的植球为倒装芯片(Flip-chip)和晶圆级封装提供了可靠的附着点,助力 CMOS 图像传感器、RF模块及其他高性能半导体设备实现微间距互连。

Expanded Bond Area
K&S 专业实力

开创性的植球解决方案


凭借几十年的线焊专业积淀,K&S 提供行业领先的晶圆级植球解决方案。我们的 ATP Lite™、ATPremier™ PLUS 和 ATPremier™ MEM PLUS 平台集成了先进的热压超声控制、精密机械和智能自动化技术,能够在 200 mm 和 300 mm 晶圆上实现一致的微间距植球焊接。在声表滤波器市场,结合自动晶圆搬运系统(Auto Wafer Handler System)等自动化选件,这些方案被广泛采用。K&S 晶圆级平台凭借卓越的生产力、极低的使用成本以及业内领先的性能,树立了效率与可靠性的标杆。

我们同时支持标准植球 (Standard Stud Bump) 和球型凸台(AccuBump™) 专利工艺。 在每种方法中,通过 放电烧结的焊球在热量、压力和超声波能量的作用下键合至焊垫,随后焊线被整齐切断,在焊垫表面留下坚固的焊球。对于标准植球工艺,通过编程控制劈刀动作,在焊点上方受热影响区处切断焊线,确保末端一致。对于球型凸台工艺(AccuBump™),在焊球上方通过先进的 Z 轴运动切割出一个平整的顶面并削弱尾线强度,从而实现更精准的切割断线。这种平整的接触区域对于后续着陆的线尾键合 (SSB) 或叠层植球键合至关重要。通过Z 轴运动轨迹、线夹开启时机和超声能量的增强控制,AccuBump™ 进一步优化了复杂焊垫布局下的焊球凸台形状,确保了焊接的完整性与重复性。

内部标杆测试与客户部署数据显示,我们的平台拥有极高的 UPH、紧凑的占地面积以及严苛的凸点高度控制(约 ±3 µm)——这些都是晶圆级生产经济效益的关键。此外,该平台支持在植球与线焊工艺制程之间快速切换,灵活应对生产需求。

Expanded Bond Area
Expanded Bond Area
解决方案

领域

植球技术在需要微间距、高密度互连的先进半导体封装中发挥着关键作用。典型应用包括:


  • CMOS 图像传感器 (CIS)
    为智能手机、车载摄像头和工业视觉系统中使用的高分辨率传感器提供晶圆级互连。
  • RF 模块与无线设备
    通过为倒装芯片组装提供可靠的植球和低损耗信号路径,支持紧凑型高频组件。
  • 先进逻辑器件与存储封装
    助力高性能计算和存储设备的晶圆级封装,在这些应用中,紧凑的间距和热完整性至关重要。
  • 倒装芯片组装
    植球作为后续锡膏焊接或粘合剂键合的附着点,显著提升机械稳定性和电气性能。
  • 晶圆级封装
    对于要求超薄外形和高 I/O 密度的设备(如移动处理器和物联网芯片)而言是理想的选择。
  • 光电元件
    用于光电产品和 LED 封装,精准的焊球放置可确保光学对准和电气连接。
  • SAW 滤波器
    行业领先的晶圆级互连方案,为 SAW 滤波器制造提供极高的产能和良率。
精密制造,实现共赢

核心优势

  • 精准规模化
    具备 ±3 µm 的植球高度控制能力,确保在大规模生产中保持始终如一的品质。
  • 高产能
    行业领先的 UPH以及紧凑的设备占地面积,最大化提升单位面积生产力。
  • 工艺灵活性
    同时支持 标准植球与 AccuBump™ 专利工艺选项,满足不同封装设计的需求。
  • 广泛的晶圆兼容性
    全面支持 200 mm 和 300 mm 晶圆规格,适配主流半导体制造产线。
  • 经验证的可靠性
    依托 K&S 几十载的专业沉淀与平台连续性,为客户提供稳定、可靠的技术支持。

我们的产品与服务

产品探索

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