ATPremier LITE™ 支持高达200mm的晶圆、陶瓷基板或各类基板。提供4英寸工作台选项,显著提升产能
在 200 mm 晶圆处理过程中,具备在± 3.5 µm @ 3 sigma 精度下持续作业的高超能力
行业领先的低温金线植球技术
支持集成自动晶圆搬运系统 (Auto Wafer Handler) 或EFEM,实现工厂全自动化运作
下层控制台采用易开启设计
可选配铜线或银合金线套件